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LAUDA POU熱電工藝溫度控制器 flyer

2020/2/25

LAUDA-Noah POU

熱電的工藝恒溫控制器,專為半導體行業(yè)度身定制,溫度范圍從 –20 90 °C

基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理,LAUDA-Noah POU熱電的溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制,使得POU能夠應用于所有類型的刻蝕工藝。

高效節(jié)能,節(jié)省空間,同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度,這種智能系統(tǒng)能夠完美的提高wafer to wafer的均勻性。

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